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美國(guó)開(kāi)發(fā)出低溫鉆石薄膜

2013-07-26 admin1

美國(guó)先進(jìn)鉆石技術(shù)公司專(zhuān)家開(kāi)發(fā)出一種新方法,可以在較低溫度下給電子設(shè)備涂上一層鉆石薄膜,讓更多電子設(shè)備未來(lái)都穿上超強(qiáng)品質(zhì)的鉆石“外衣”。相關(guān)論文發(fā)表在美國(guó)物理學(xué)會(huì)(AIP)期刊《應(yīng)用物理快報(bào)》上。

鉆石由于其硬度、光學(xué)透明度、光潔度、耐化學(xué)藥品、輻射和電場(chǎng)等方面卓越性質(zhì),在工業(yè)和高科技裝置上具有特殊價(jià)值。研究人員將鉆石用在電子設(shè)備上時(shí),把半導(dǎo)體硼引入鉆石制造過(guò)程,通過(guò)“摻雜”使其能導(dǎo)電。但過(guò)去,利用摻雜鉆石涂層或薄膜賦予電子設(shè)備鉆石般的品質(zhì),還面臨很大挑戰(zhàn),因?yàn)閾诫s鉆石涂層在應(yīng)用時(shí)要求很高溫度,而生物傳感器、半導(dǎo)體、光子和光學(xué)設(shè)備等靈敏度較高的電子設(shè)備遇到高溫會(huì)被破壞。

在論文中,美國(guó)伊利諾斯州先進(jìn)鉆石技術(shù)公司報(bào)道,他們?cè)斐隽艘环N硼摻雜鉆石薄膜,能在低溫下(460℃到600℃)給許多電子設(shè)備穿上鉆石“外衣”。

低溫沉淀硼摻雜鉆石薄膜的概念已不新鮮。但在實(shí)際應(yīng)用中,尚未發(fā)現(xiàn)品質(zhì)優(yōu)良又能迅速制造用于商業(yè)化用途的鉆石薄膜。研究小組通過(guò)降低溫度,并調(diào)整通常工藝中甲烷和氫氣的比例,改變了原來(lái)硼摻雜所需正常溫度,也能生產(chǎn)出高質(zhì)量薄膜,在導(dǎo)電性或光潔度方面跟高溫生產(chǎn)的鉆石薄膜沒(méi)多大區(qū)別。

研究人員說(shuō),他們還需要更多數(shù)據(jù)進(jìn)一步研究,以更好地掌握低溫環(huán)境。利用進(jìn)一步優(yōu)化的方法,有望在低于400℃的溫度下沉淀硼摻雜鉆石薄膜。先進(jìn)鉆石技術(shù)公司的曾宏君(音譯)說(shuō):“沉淀溫度越低,就能在越多的電子設(shè)備上應(yīng)用。在厚度、光潔度、導(dǎo)電性等方面也將進(jìn)一步拓寬鉆石涂層的生產(chǎn)種類(lèi)?!?/p>


標(biāo)簽: 低溫鉆石薄膜
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